Plasma增强化武沉积

牛津工具局PlasmaPro80是一个小脚印系统,提供多功能伸展和沉积解决方案并适当开放加载

方便用户并易于定位而不影响流程质量。 快速动画装卸、适配性研究、原型制作和低容量制作由开放负载设计驱动允许高性能进程,帮助改善电极冷却和极优基温控制

亮点

  • 开放负载设计可快速编织加卸
  • 杰出拉希控件和速率判定
  • 构建半S2/S8标准
  • 杰出毛线温度一致性
  • 最大200毫米宽幅
  • 低成本拥有

应用

  • 硬掩码沉积和拉特可高清晰度LED制作
  • 高品质二元二元二元二元用于光密机机机机机机机机机机机

Plasma增强化武沉积

图像感想:牛津仪器等离子技术

Plasma增强化武沉积

图像感想:牛津仪器等离子技术

特征学

  • 小脚印-简单网站
  • 高导线对称泵配置-确保增强流程一致性和速率
  • 优化电极冷却-基温控制
  • 易获取关键构件-增强可用性和维护
  • 添加 <500米数据日志-可追踪性及分组和进程条件历史
  • 紧凑联动涡轮泵-高泵速度和突出基压
  • 故障工具诊断前端软件快速故障诊断
  • X20控制系统-可极大增加数据检索并提供快速和更多可重复匹配
  • 光散射分解法可用于大型样本或批量端定点-检测抽取副产品变化或活性气体种类耗竭,室内净端定点
  • 欧洲杯足球竞彩激光端点检测方法-量化反射面透明材料深度(例如Si氧化物)或非透明材料反射法(像金属)识别图层边界

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