高密度远程等离子体使用提高胶片质量并减少基质损耗,ICPCVD进程模块打算在低生长温度下制作高质量薄膜
亮点
- 极均匀性、高吞吐量和高精度过程
- 高质量电影
- 广温电极
- 兼容所有波长尺寸达200毫米
- 飞速变化宽度
- 低成本自备易用
- 紧凑脚印灵活布局
- 抗热电极容量可达400摄氏度或1200摄氏度
- 原位机房清洗和端定
- 弹性蒸发模块使用液态先质沉降薄膜,例如TiO2TTIP使用SiO2TEOS使用
应用
- 低温高品质低损薄膜可实现
- 小O2西城3N级4欧洲杯足球竞彩sionssi和sic常见素材沉入低至5摄氏度
- IPC源码大小为65毫米、180毫米、300毫米交付流程一致性达200毫米瓦
- 电极可用温度介于5OC-400OC
- IPCVD天然气配送技术
- 原地机房打扫端点