的Nexview™650计量系统是一个检查工具进行自动测量的注塑模具、多氯联苯、玻璃面板,和其他样品,需要延长工作卷650 x 650毫米。它提供的2 d和3 d测量不同表面特征与亚微米横向精度和事实上垂直精度。
强大的性能
Nexview测试技术的核心™650系统是相干扫描干涉法(CSI)。
这种非接触式技术提供高精度、高价值的表面计量津贴,包括以下:
- 措施几乎任何表面,从粗糙到非常光滑,包括薄膜、陡峭的斜坡,和巨大的步骤。
- 事实上测量精度是独立的场放大
- Gage-capable性能提供出色的可靠性和再现性,即使是最苛刻的生产应用程序。
- SureScan™振动公差技术使在任何环境中可靠运行。
- Mx™软件允许数据共享与其他ZYGO ZeGage等分析器™Pro, NewView™9000年,Nexview™NX2。