Verifire™XL:交钥匙干涉仪工作站

Verifire XL是交钥匙干涉仪工作站用大光圈和占用空间小普莱诺光学测试多达300毫米直径。

这完全集成系统操作简单,重型提示/倾斜阶段,允许重复的部分没有定制夹具放置。

占用空间小,内置隔振和控制器监视站需要生产占地面积小。

更多信息

独立的大光圈工作站评价普莱诺光学表面形式与直径12英寸(300毫米),如镜子、半导体晶片,窗户,晶片轻叩,阻止了公寓。

图片来源:Zygo公司

关键特性

• 12(300毫米)下孔径轻松处理和部分对齐
• 交钥匙,独立主机系统组成的一个干涉仪,被动隔振系统,调整阶段,测试部分和一个1/15^th波PVr传输平(TF)
• 紧凑的足迹可以节省宝贵的地板空间
• 嵌入式振动隔离和QPSI^TM准确的测量技术在生产环境中