优化复杂多发表面产生复杂的边缘模式;的VerifireTMMST获得阶段数据从多个表面同时使用专利wavelength-shifting技术。
报告关键指标从个人平行窗口表面波阵面传播,和准确地对地的数据,如总厚度变化(台),楔形,材料的不均匀性。
准确的表面和厚度变化计量测试部分的0.5毫米薄,VerifireTMMST地址要求应用,如数据存储光盘、移动设备显示玻璃,半导体晶片。
满足Zygo Verifire™MST
视频来源:Zygo公司
更多信息
的VerifireTMMST措施表面形式和传播波前与高精度光学组件和透镜系统。这是唯一商业干涉仪系统能够同时测量多个表面同时保持相对表面信息和提供快速和简单的结果从多个表面。
关键特性
- 表面和实时波前特性,以及精确地对地计量,如电视和楔
- 表面和厚度资格测试部分厚度0.5毫米一样薄
- 广泛的横向分辨率,包括pixel-limited光学设计,可提供最佳ITF。
- 1.2 k×1.2 k(包括离散为光学变焦放大炮塔3×)
- 2.3 k×2.3 k
- 3.4 k×3.4 k
- 操作µm波长从633纳米到1.053,1.064µm和1.55µm可用。
- QPSITM收购技术,只能从ZYGO,便于准确测量在播放环境现在在波长转换和多界面FTPSI收购。
- 火环减少工件来源包括standard-nullifies圆心并减少相干噪声。