PE-300高分辨率现场发射SEM

PE-300是一个高分辨率反射场SEM,用户获取详细图像信息

PE-300提供快速精准枪轴对齐

PE-300是用户应用需要异常成像时最理想的工具可用BSESEEEDS

规范化

出处:模块Sci公司

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尺寸(mm) 760(W)x850(L)x1650(H)
电子源码 FE(Schottky)
解决方式 2.0nm
放大化 20x-3000
有效放大 20万x
加速电压 0.5-30kV
5轴机电化阶段 XYZRT
真空系统 旋转泵、TMP、ion泵
瓦库姆 106torr

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