2000串变量高度工作站的典型应用包括计量学、显微镜、掩模对齐、凝聚显微镜、原子力显微镜、细胞注入、 wifer检测和补丁绑定
特征与福利
- High-performance Active-Air Suspension
- VibraDamp钢搭建
- 从十二大标准可用十大桌面中选择
- 无限修改12英寸范围
- 自动定级控制
- 100类净室兼容-10类可用
- 表格顶端旅行约束
- 后卫铁路标准
规范化
性能数据源码系统公司
| 敏捷加载@20 |
| 垂直自然频 |
1.9Hz |
| 隔离效率@5Hz |
70% |
| 隔离效率@10Hz |
90% |
| 水平自然频 |
2.2Hz |
| 隔离效率@5Hz |
64% |
| 隔离效率@10Hz |
90% |
| 马克斯加载@80psi |
| 垂直自然频 |
1.5赫兹 |
| 隔离效率@5Hz |
85% |
| 隔离效率@10Hz |
97% |
| 水平自然频 |
1.2Hz |
| 隔离效率@5Hz |
91% |
| 隔离效率@10Hz |
97% |
| gross负载容量@80 |
| 2001年 |
800磅360公斤 |
| 2002年 |
1300lbs590公斤 |
| 结束 |
| 标准类 |
线性白
平滑性
聚氨酯 |
| 10类 |
白天花
火药上衣 |
注:典型性能效率指微扰动
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