星云是忠诚的工程的自动化，工程精度和与您合作的巅峰，我们的合作伙伴。
这些集成的真空系统是专门为满足您的流程和研究需求而设计的，并由一个中央机器人连接，该机器人可以在每个模块上处理多个样品，同时保持真空。
模块的数量和类型由您自己选择，为未来的扩展潜力提供了空间。每个模块都可以使用经过验证的组件和子组件进行设计，以满足您的技术和应用要求。我们的目标是提供一个强大的，工程化的系统，以我们世界知名的客户支持为后盾。
衬底尺寸：可以容易地容纳200mm x 200mm基板，并且如果需要，可以设计用于较大的基板。
AERES集成软件：您有能力创建和控制每个过程参数的食谱，包括:
- 预沉积 - 晶片制备，源升压和稳定化
- 层控制 - 厚度，速率，快门和源空转
- 阶段控制 - 加热，冷却，旋转，角度和偏置
- 气体和压力 - 压力稳定性和精确的气体输送
- 自动化 - 按START并留下系统进行所有操作
吞吐量：将取决于过程的持续时间和复杂性。然而，AERES集成软件平台优化了层到层的转换，从而大大减少了整个流程时间。
模块选项
- PVD，CVD和ALD提供多种真空沉积模块
- 使用等离子或离子束源的衬底清洗和制备可以集成到任何工艺模块中
- 基板和掩模储存盒室根据需要容纳25个或更多个样品托盘
- 支持多个PVD（物理气相沉积）工艺以及ALD（原子层沉积）和CVD（化学气相沉积）整合
- 使用Scara机器人的分配模块尺寸适合满足您的需求
- Glovebox环境可以集成到一个或多个模块
标准关键特征
- AERES综合控制软件标准标准并拥有从整个过程中创建和控制食谱的能力，从预沉积，通过层控制（包括前所未有的低速稳定性），阶段控制，气体和压力控制以及自动化
- 定制旨在满足您的流程要求
- 每个系统都包含多用户现场培训
- 我们的详细培训手册教授新用户如何运营和维护设备2020欧洲杯下注官网
- 用户安全对腔室打开时的源诸如切割电源的特性保持圆概
- Angstrom着名的服务。我们备份我们的产品。
- 8小时回复保证:如果您打电话或发邮件，我们将在8小时内回复，以便您得到您需要的支持
可选功能
- 手套箱集成
- 铝或不锈钢室选项
- 可提供国际输入电压
- 高真空或超高真空配置
- 加热，冷却和偏置阶段
- 行星和圆顶夹具
- 将锁定和半自动化基板和掩模处理
- 滚动加工
- 用于创建复杂纳米结构和图像涂层的可变角度阶段
- 进一步定制可用。与我们的应用工程团队交谈时，讨论所有要求。
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服务水平和与客户的连接程度，任何一天中的电子邮件都在回答您的电子邮件，并帮助您从远处拍摄的麻烦，超出了我以前见过的。这种互动是从这里开始给我一个顽固的客户。
凯西·史密斯博士-德克萨斯州立大学
我们对我们从埃克斯特罗姆购买的两个系统非常满意，并根据我们的经验以及我从社区的听到，我们正恰恰是最好的决定。
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