离子束显微镜

离子束显微镜，或聚焦离子束显微镜(FIB)，使用离子束对样品进行亚微米级细节成像。聚焦的离子束可以通过“溅射过程”直接改变或“研磨”样品的外观，这种研磨可以以纳米级的精度进行操作。通过小心地操纵离子束的能量和功率，可以进行非常精确的纳米加工，以产生微小的特征或去除不需要的材料。

当离子束显微镜与扫描电子显微镜(SEM)结合使用时，它变得更加有用。在双束装置中，电子束和离子束在靠近样品表面的一个重合点上相遇，允许对fib - milling样品进行瞬时高分辨率扫描电镜成像。