扫描透射电子显微镜（Stew）

扫描透射电子显微镜（Stem）结合透射电子显微镜（TEM）的功能和扫描电子显微镜（SEM）。像TEM一样，阀杆分析由非常薄的样品传输的电子束。如SEM，茎过程以矩形图案以矩形图案扫描在样品上的聚焦光束。

电子和样本之间的相互作用产生用于创建虚拟图像的信号。

茎涉及在TEM中不能在空间相关的其他信号的分析，例如散射光束电子，独特的X射线和电子能量损失。阀杆也具有比SEM更好的空间分辨率。