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光学非接触分析器和测量

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光学非接触分析器是干扰显微镜,用于精确测量给定测试材料的表面上的三维高度变化。光学分析器操纵进入显微镜的光的波形属性,并比较测试对象与已知平整度的参考对象之间的路径差异。一旦光进入光学分析器,光束将分开,其中一半的光束反射用于感兴趣的对象的显微镜物镜的焦平面,另一半从参考镜中反射。然后测量这两个光束之间的干扰以形成可以获得高度计算的干扰图。

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