轮廓仪

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触针式轮廓仪和光学轮廓仪均由探测器和样品台组成,用于测量表面轮廓,并对表面粗糙度进行量化。在该系统中,检测器将确定提供测量信息的样品上的点,而样品台将样品保持在适当的位置进行分析。触针式轮廓仪通常使用移动探针测量样品表面,而光学轮廓仪将使用光而不是物理探针。虽然表面轮廓仪具有类似的测量能力,但其特定参数设置的一些选择包括间距、波纹度、混合参数和平面度。

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