超声波扫描显微镜

扫描声学显微镜（SAM）是一种无创、无损的检测空腔和器件的技术。SAM是有用的，因为它能够检测厚度小于100nm（亚微米级）的材料的各种层或分层。SAM分析的样品被淹没在液体介质中，这样超声波就可以通过液体介质传播。通过向介质发送脉冲，超声换能器接收并将界面上的反射声波转换为可测量的电磁脉冲，并显示为图像。