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能量色散光谱（EDS）

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能量色散光谱法用于通过评估被聚焦电子射线淹没的样品释放的X射线光谱来进行局部化学评估。从铍（原子序数4）到铀（原子序数92）的所有元素都可以用这项技术检测出来，但有些设备很难检测出原子序数小于10的“轻元素”。

定性评估包括鉴定光谱中的菌株。定量研究需要测量样品中每个元素的谱线功率。元素分布“地图”可以通过扫描像电视一样的矩形模式的光束来制作。此外，由样品编译的电子产生的图片揭示了外部形貌或平均原子序数的变化。

初级EDS评估通常涉及从扫描电子显微镜的整个扫描区域创建X射线光谱。

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