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该视频显示了工作机制Physik仪器（PI）的杂交阶段。PI提供独特的混合概念，具有父位置测量和闭环控制。一些关键功能包括同时控制压电弯曲驱动器和DC - 伺服/滚珠丝杠驱动，纳米范围内的可重复性，达到纳米精度，高一致性的速度，高一致性的速度和高能量要求/热量耗散。
混合工作台主要适用于需要高精度测量和返回位置的应用，或用于表面检测和测量，以精确到纳米级的目标位置。
时间:0:48分钟
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