Pimars - 来自PI的高精度纳米定位系统
该视频通过以下提供纳米定位阶段的偏磁带范围的瞥见Physik Instrumente（PI）。PI为3个线性轴以及6个轴（3个线性，3个旋转）提供广泛选择的高精度纳米定位系统。该阶段具有平行的运动学/计量学，可提高响应性和多轴精度。它们具有出色的筛选平整度，并具有无摩擦的高精度弯曲引导系统。电容传感器确保最高线性和稳定性。纳米定位阶段是UHV兼容的10-9HPA。它们用于扫描显微镜，超分辨率显微镜，生物技术，掩模/晶片定位，样品定位，干涉测量和计量。
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PieCocope P-563 Pimars XYZ-Stage的压电纳米定位阶段www.pi.ws