发表于|表面分析

六轴六足非球面光学6D非接触面测量

六轴六足运动系统| PI非球面光学六维非接触面测量

PI的六轴六足精密定位系统可以帮助加速非球面的测量。当需要测量纳米范围内的偏差并要求高通量时,测试非球面形状精度对制造商来说是一个主要挑战。这里显示的系统,基于一个新的干涉仪设计的计量专家马赫利用六轴六足运动和定位系统从PI。

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