多传感器计量工具 - MicroProf 200

Metrology Tool MicroOrf.^®200测量具有不同光学传感器的硅晶片和微流体板，首先确定晶片厚度，第二个是微通道的深度和宽度。作为最追捧的FRT设备，MicroProf^®200提供几乎所有表面和层的无接触和无损特性。其强大的设计和高可靠性和持久的组件，使其适合于在每个工业环境中不间断部署。可定制的多传感器设计和广泛的可选扩展组合，MicroProf^®200不仅解决了所有当前的计量问题，而且为所有未来的挑战做好准备。所有这一切都具有直观且易于处理。