MicroProf®MHU适用于各种样品晶圆类型

MicroProf®MHU是专门为半导体、MEMS和LED行业设计的,可以轻松配置各种样品(晶圆)类型。许多工业应用需要高通量的全自动测量。反过来,这又需要对样本进行自动处理。该处理单元可以处理2到8英寸的晶圆。根据配置的不同,最多可以同时处理4个磁带。

MicroProf®MHU

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