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更多的https://www.pi-usa.us/en/apps-tech/motion-control-solutions-for-the-semicondiond-industry/和https://www.pi-usa.us/en/oem-systems/engineered-systems/.精度高,多轴晶圆检测阶段,基于直线电机,空气轴承,压电纳米定位组合级和电机提供高速运动和动态水平和角修正。更多关于精密自动化系统的信息https://www.pi-usa.us/en/tech-blog/search-blog-posts-by-category/automation-nano-automation/
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视频信用:PI(Physik Instrumente)LP
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2017年汉诺威工业博览会上PI运动中心工业自动化解决方案的亮点
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