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这是它的工作原理：https://www.pi-usa.us/en/tech-blog/sub-nanometer-resolution-piezo-linear-motor-with-interferometer-feedback-pi/关闭循环V8压电线性电机Wi激光干涉仪：可实现降至0.15纳米的分辨率。
有关PieOWALK线性电机的更多信息：https://www.pi-usa.us/en/products/piezo-motors-stages-actuators/linear-piezo-motors-actuators-for-intogration/#c60205压电镜应用：https://www.pi-usa.us/en/tech-blog/search-blog-posts-by-category/piezo-actuators-motors/
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视频信用：PI（Physik Instrumente）LP
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