碳MEMS工艺(C-MEMS)

碳-MEMS (C-MEMS)是一种微细加工技术,在不同的环境气体中,在不同的温度下热处理(热解),作为一种碳质结构和功能材料用于微型机电系统(MEMS)。这种新材料允许一种全新的MEMS应用,其结构具有各种各样的形状、电阻率和机械性能。此外,与硅等传统MEMS材料相比,碳表面可以形成更好的电化学电极,更容易与有机分子衍生化。欧洲杯足球竞彩


碳MEMS技术(C-MEMS)

表演时间1:03分钟

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