与翻转站的晶圆处理

Flip Station是我们Microprof®的一个新组件，它使用EFEM处理设备，可以将晶圆旋转180度，以使晶圆的底部朝上。2020欧洲杯下注官网这允许在一个处理过程中全自动测量晶圆的顶部和底部。

晶片的旋转与根据半标准MF 1390的确定晶片弓的旋转相关。该标准为原始和晶圆的旋转状态提供了弓测量，以便考虑或补偿曲率晶圆（弓）由于其自身的重量。