希登分析宣布引入一个完整的,紧凑的SIMS设施,方便地安装在一个单一的特高压conflat型法兰。新系统,恰当地命名为SIMS-on-a-法兰,允许用户快速安装完整的SIMS资源在现有的真空和工艺室,没有重大的重建或校准问题。
二次离子质谱(SIMS)是一种高灵敏度的表面分析技术,用于测定表面成分、污染物分析和样品最上层的深度剖面。应用于从几埃到微米深度的分析,表面按种类、丰度、原子层逐层进行分析。
该系统包括带积分能量过滤器的分析级四极质谱仪、精细聚焦氧气源离子枪以及系统操作、离子束光栅扫描、数据显示和表面测绘所需的所有软件和硬件。
质量范围选项使操作从1 amu到1000 amu,离子计数检测正电荷和负电荷离子。标准安装法兰为DN-150-CF(6英寸端口尺寸)和DN-200-CF(8英寸端口尺寸),具体取决于选项。