2007年12月21日
微电机系统微小构件从硅嵌入制作极复杂,有时上百步,每步有数十参数其中一个欧洲项目开发软件,测试、模拟、跟踪并分享新制造过程它可以割裂开发时间并铺路创新MEMS设计
并探索现代汽车的内核 你会发现一些惊人的显微镜机细微加速计触发气囊,陀螺仪检测并纠正危险的Yaw和压力传感器监测轮胎膨胀
汽车产业是微电机系统最大消费者之一微小组件结合电子学和机械学世界使用同样的制造原理生产微芯片,有可能将硅带入带移动部件的电气设备中
MEMS制造极复杂,有时涉及数以百计的不同步数每一步可受十多个参数控制,包括温度、压力和化学组成
努力想出制造配方 新建MEMS组件如此复杂 没有ICT支持是不可能的无法跟上所有变量和对最终结果的影响 解释Dirk Ortloff,欧盟资助的Promenade项目的共同创源
五摄氏差对硅芯片生产作用微小,因为它们只依赖物料的电特性MEMS也有机械性能单步小变异制造参数可改变最终产品性能
预言集合了正在开发MEMS设备的一些顶尖专家项目由7个伙伴组成,包括比利时、联合王国、荷兰、德国和奥地利的业界、研究所、大学和软件商
虚拟制造
项目的目的是构建软件支持MEMS制作序列设计
与Bosch和Central密切合作IMEC研究中心作为潜在终端用户,研究伙伴侧重于三个模块设计模块允许制造商使用图形界面输入并编辑制造步骤序列模块通过对集合进程流进行一致性检查可真正压缩开发时间检验帮助避免常见错误如错误或忘记预处理或后处理
每一步骤及其相关参数和其他数据都以标准格式存储在一个数据库中Ortloff表示这对MEMS行业来说是一个重要的突破无法传输复杂MEMS配方并用电子辅助数据通过以标准格式提供这些信息,制造商传送信息并安装不同单元将快得多。”
第二模块允许设计师模拟制造序列本模块基础项目伙伴之一Silvaco商业上可用模拟包项目开发工作改编Silvaco软件说明MEMS物理结构可靠模拟对MEMS设计至关重要,以便在昂贵实验原型生产前解决尽可能多的问题
由Promenade财团开发的最后模块是一个跟踪组件,记录整个制造过程-每一步的每一参数,并附图像和扫描设备
Ortloff说,“获取实验数据行业例行公事”,但是没有系统捕捉全部数据,然后组织数据查找数据关系帮助将所有数据转换成知识并同时加速开发过程, 因为每次设计新的MEMS时你都不需要重新收集所有知识。”
冲出新市场
项目结果受到MEMS制造商的欢迎并提供几种商业产品Silvaco将提供全三维流程模拟分析工具,整合MEMS处理模型
卡文迪什动脉学大学预工队成员 和西根大学开机新分机公司 叫做进程关系Gmbh启动程序已完成第一轮供资并接近第二轮,准备在全世界启动Promenade商业继承人XperiDesk
2020欧洲杯下注官网XperiDesk提供微电子和MEMS领域首创进程开发执行系统,后为太阳能和生物医疗设备制造商等其他高技术行业提供系统Ortloff估计PDE系统市场为每年1亿欧元
XperiDesk将真正加速进程开发并传输过程,允许测试和开发新式设备与思想, 原型设备或思想会被取消,高科技公司快速产品生命周期,
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