Pi（Physik仪器）L.P.是纳米定位和精确运动控制设备半导体和光子学应用的领先制造商，已将其Pihera®家族扩展到弯曲引导的压电纳米置阶段，现在提供创纪录的旅行范围为1.2020欧洲杯下注官网8毫米。
新阶段比传统阶段更大的区域捕获200倍
这些精确的闭环挠曲引导阶段可用于扫描探针应用（表面计量学）和静态定位。由于旅行范围长，它们可以扫描面积超过200倍以上的压电阶段，其典型范围为100x100 µm。大多数Pihera®阶段都提供了子纳米分辨率，甚至1.8 mM版本在闭环操作中达到3 nm分辨率。紧凑的尺寸是通过新的，无摩擦和极端刚性的挠曲系统来实现的，该系统还提供了快速响应和出色的指导精度。轨迹精度在低纳米计范围内。高加速力由获得专利的长寿多层线性执行器提供。在长途旅行范围内以毫秒的响应能力和纳米精度来控制运动的能力使Pihera®阶段非常适合测量和质量检查应用。
电容反馈提供更大的运动线性
这些阶段配备了非接触电容式传感器，并提供极端的线性运动，其准确性高达99.98％，并在子纳米计范围内有效分辨率。PI电容传感器是绝对测量的直接计量学设备，具有很高的带宽并且没有周期性误差。
典型应用
表面计量学，质量保证，扫描探针显微镜，纳米测量学，干涉法，纳米定位，纳米对准 /半导体技术
功能和优势
- 没有磨损：弯曲，执行器和传感器是不含维护的
- 使用专利的陶瓷压电执行器寿命更长
- X，XY，Z和XYZ版本可用
- 50至1800 µm旅行范围，纳米分辨率
- 闭环数字和模拟控制，最多99.98％的位置精度
- 真空兼容版本
- 刚性的僵硬设计，以毫秒响应能力
- 无摩擦，无维护，精确的挠曲指南系统
- 直接量表传感器，用于更快的伺服响应
灵活控制器：高速，数字和模拟控制
具有数字和模拟输入的各种超低噪声控制器都提供了快速的通信，并提供了多种软件工具。