台湾太阳能电池制造商订购MOCVD系统

Veeco仪器公司。近日,美国科技公司宣布,台湾新州千禧年通信有限公司(M-Com)已订购TurboDisc(R) E450(TM)磷化砷(As/P)金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统,用于生产高效III-V化合物多结太阳能电池。

M-Com总经理Lih-Wen Laih博士表示:“我们决定将Veeco的E450系统添加到我们的晶圆厂,是基于该工具的高吞吐量和生产高质量薄膜的能力,我们相信这将转化为更高效率的多结太阳能电池。我们预计,在生产中添加这一工具将帮助我们将每块芯片的成本降低10倍,这对我们继续在光伏电池市场获得市场份额至关重要。”

Veeco副总裁兼MOCVD运营总经理Sam DiRenzo评论道:“M-Com选择我们的TurboDisc E450 As/P MOCVD系统进一步证明了M-Com有能力持续生产高产量的优质多结太阳能电池设备。E450具有业内最高的产量,这使其成为最畅销的MOCVD工具。”

Veeco的TurboDisc E450(及其最近推出的继任者E475) As/P工具是为化合物半导体材料的大批量生产而设计的,并提供了竞争对手MOCVD技术无法匹敌的过程控制和可靠性。欧洲杯足球竞彩集成的RealTemp(R) 200技术用于直接闭环现场晶圆温度控制,以及用于严格控制界面突然性的快速气体切换,这些技术先进的系统提供了卓越的材料质量和工艺效率。除了三重结太阳能电池,应用还包括hbt、phemt、红色、橙色和黄色HB-LEDs以及激光二极管。

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