应用材料公司欧洲杯足球竞彩今天推出了Applied inflection (TM)边缘抛光系统，这是一种独特的高精度缺陷去除系统，可抛光和清洁关键的晶圆边缘区域。
由于在加工过程中，晶圆边缘上的缺陷可以转移到有源器件区域，消除这些缺陷可以潜在地提高高达10%的整体成材率。在一次工序中去除膜堆残留物和浅表面缺陷，同时最小化排除面积，以最大限度地增加良好的模具数量。此外，该系统精确控制边缘轮廓，使客户能够定制薄膜到晶圆的接口，以满足广泛的集成要求。
“晶圆边缘的缺陷代表了一种用于产量改进的新的前沿，并且在应用材料'CMP师的总经理Lakshmanan Karuppiah表示，在浸入45nm节点的引入变得更加关键。”欧洲杯足球竞彩“Inflexion系统利用我们在平面化技术和过程控制方面的十年领导，以提供业界最快，最有效的边缘抛光系统。应用的Inflexion系统已经在客户网站上生产，在那里他们在逻辑和记忆中展示了显着的收益率设备。我们预计该系统的创新性能和灵活性推动新的前后端和后尾应用。“
应用拐点系统的高生产率平台可以配置多达三个处理模块，提供两倍于竞争边缘抛光系统的吞吐量。该系统集成了应用公司经过生产验证的Desica(R)单晶片湿式清洗机，以确保在所有表面具有良好的缺陷性能。该系统使用了带有专有头部技术的研磨胶带，提供了一种非选择性的过程，可以有效地清除包括切口、斜面、顶点和前后排除区在内的整个边缘区域的所有材料，包括其他清洗方法难以清除的金属/电介质堆残留物。欧洲杯足球竞彩
当应用的enflexion系统与应用的SemVision（TM）G4缺陷审查工具结合使用时，这些系统提供了全面的晶圆边缘缺陷删除，审查和分析解决方案，使客户能够成功地表征和控制边缘缺陷问题，尤其是浸没光刻。
2008年5月8日发布