晶圆曲率传感器epicurve®TT,已经Laytec全球GAN领导的制造商中的畅销书,在欧洲研究机构中也越来越多地认可。最近,欧洲的MOCVD系统出售了三个Epicurve®TT传感器。其中一个已经成功安装在法国瓦尔邦纳的CRHEA / CNRS。
Philippe de Mierry和同事在自制的MOCVD系统上使用该传感器来监测GAN和INGAN在蓝宝石底物上的增长。De Mierry先生说,他的团队研究“不同的背面抛光和涂层,厚度,最初的鞠躬和残余压力的影响。此外,随着下一代大型蓝宝石底物的下一代,LED活跃层中含量的同质性成为一个真正的问题。这需要在内部沉积过程中很好地控制表面温度和晶圆曲率。Epicurve®TT将有助于了解这些各种底物参数在晶圆曲率演化中的作用,然后优化LED均匀性。”
Epicurve®TT的进一步已出售给德国的Magdeburg大学。Alois Krost教授围绕的团队将使用它来进行GAN/SI增长控制,尤其是对基于GAN的Bragg镜子和VCSEL结构的原位监视。
德国柏林技术大学已经购买了Curve®模块作为光谱反射传感器EPIR的上级。Michael Kneissl教授和他的团队将传感器应用于Thomas Swan紧密耦合的淋浴喷头反应堆,以优化Ingan Laser和Deep-UV LED LED增长。Epicurve®RTT系统允许将全光谱反射控制与晶圆曲率,温度和生长速率测量相结合,全部实时。