2008年7月8日
今天宣布麦哲伦号™ 家庭费氏公司引进了一类新的仪器，叫做超高分辨率扫描电子显微镜(XHR sem)。麦哲伦XHR扫描电镜可以让科学家和工程师快速看到以前看不到的东西，比如在许多不同角度和分辨率低于1纳米(大约10个氢原子并排)的3D表面图像。最重要的是，麦哲伦XHR扫描电镜在非常低的束能下成像样品，避免了束穿透到下面的材料而造成的扭曲。
FEI的超高分辨率扫描电子显微镜（XHR SEMs）。
麦哲伦XHR扫描电镜是自费氏引进泰坦以来最重要的电子光学创新™ 三年前的家庭，”费氏负责市场和技术的执行副总裁Rob Fastenau博士说。“麦哲伦是一个独一无二的行星，就像土卫六是透射电子显微镜和我们创新的太阳神纳米实验室™ 家庭是双光束的™ 系统。麦哲伦是唯一一个能够使非专家在实际意义上获得亚纳米分辨率的仪器系列，并且不受样品限制，这些限制以前限制了其他系统的实用性和可接受性。麦哲伦作为其类别中的性能基准，是费氏dee的另一个证明p致力于成为我们所有市场中高性能解决方案的领先创新者。”
亚纳米分辨率在科学研究和工业研发中具有重要价值。此外，它是先进半导体制造中工艺开发、监控应用的绝对要求。麦哲伦系列将这一能力扩展到以前传统SEM、透射电子显微镜（TEM）或聚焦离子束（FIB）系统不可能或不实用的应用。
例如，在从低于1千伏(kV)到30kV的光束能量范围内提供亚纳米分辨率的能力，使半导体制造商能够以前所未有的清晰度和对比度，看到32nm及以下复杂三维结构的关键细节。材料科学的研究人员现在有能力生欧洲杯足球竞彩成高分欧洲杯线上买球辨率、表面敏感的碳纳米管、纳米线和催化剂的图像，而不会因高能电子束充电而造成图像失真。麦哲伦系列全面扩展了纳米级成像和分析的范围，具有传统sem的速度和易用性。
麦哲伦系列的性能源自新的电子光学元件、专有电子枪技术、高精度五轴压电陶瓷工作台和具有完全可配置分析室的高稳定性平台的集成。该工作台易于容纳大样本或多个小样本，同时提供快速、准确的导航和无与伦比的稳定性。
麦哲伦系列有两种型号：麦哲伦400为科学研究而优化，而麦哲伦400L为半导体实验室而优化。半导体实验室模型具有负载锁定功能，可加快样本吞吐量，并包括可伸缩固态背散射电子探测器（SSBSED）和S2合规套件。这两种型号都有一个可选的全环境外壳，用于将仪器与热干扰和声干扰隔离，确保最佳性能，同时降低现场要求和设施准备成本。麦哲伦系列现在可以购买，最初的发货计划于2008年9月开始。