Veeco仪器公司。该公司今天宣布，其新的InSight(TM) 3D自动原子力显微镜(3DAFM)平台已被全球一家关键半导体客户接受，用于光学接近校正(OPC)建模的关键尺寸(CD)参考计量。InSight 3DAFM提供了对45nm和32nm半导体关键特性的高精度、非破坏性、高分辨率三维(3D)测量，并具有作为真正fab工具的合格速度。Veeco还表示，从国内领先的半导体设备制造企业接到了新订单。
Veeco计量执行副总裁Mark Munch博士评论道:“我们很高兴这个客户，作为参考计量领域的领导者，已经接受了该工具用于这种苛刻的应用。InSight 3DAFM为OPC计量提供了最佳的可用精度，减少了残留测量误差，提高了OPC周期时间。这可以显著提高先进半导体器件的上市时间，并降低工艺开发成本。我们也很高兴，一家关键的半导体设备客户选择了InSight用于45nm及以下的基于生产的gate CD计量应用。”
Veeco自动化AFM业务副总裁Paul Clayton表示:“由于目前CD计量工具的局限性，Sematech等行业领导者强调了改进OPC计量的必要性。“在测试期间，InSight 3DAFM在各种OPC相关结构上进行了广泛的测试，如线、通道、线和空间末端。我们的客户的出色结果表明，在所有CD计量工具中，InSight的测量不确定度最低。”