在霍尔斯特中心的框架内，IMEC实现了微机械压电能量采集器的新记录，现在输出功率为60µW。采用氮化铝(AlN)作为压电材料，采用简单、低成本的cmos兼容生产工艺实现收割机。仅500Hz的低谐振频率使该器件具有广泛的应用前景。60µW的输出功率足以驱动简单的无线传感器，间歇地将传感器读数传输到主机。潜在的应用包括轮胎压力监测系统(TPMS)或工业设备的监测。2020欧洲杯下注官网
压电能量收割机。
能量采集器将周围的能量——光、热或振动——转化为电能。在电池不容易更换的情况下，它们是必不可少的。例如，分布在大范围和难以访问的地点的自主传感器网络。IMEC的新型能量采集器是一种通过压电传感器转换振动能量的微机械装置。它可以用来为传感器产生能量，例如，飞机、车辆或振动工业设备。2020欧洲杯下注官网
在共振频率为500Hz、输入加速度为2g的情况下，测量了60µW的实验输出功率。它由Pt电极、AlN压电层和顶部Al电极构成的压电电容器组成。电容器是在一个悬臂梁上制造的，该悬臂梁的顶端有质量。当收割机振动时，悬臂上的质量导致压电层被拉伸，从而产生电能。使用氮化铝作为压电材料使该设备与CMOS工艺兼容，使生产成本更低。
去年，IMEC已经展示了一种压电收割机，据报道输出功率为40 μ W。但是这个装置有一个压电层是用PZT制造的。目前的AlN层的优点是可以在一个更简单的沉积过程。此外，PZT装置的工作频率为1.8kHz。这种新型收割机的低共振频率- 500hz -与工业设备或汽车轮胎的振动频率相对应。2020欧洲杯下注官网这大大扩大了这种收割机的应用领域。