HORIBA科学是研究和工业用光谱椭偏仪的领先制造商，提供了一种称为DeltaPsi2的先进薄膜表征平台。该软件适用于椭偏仪、旋光仪和反射仪，并控制所有HORIBA Scientific薄膜计量仪器。
DeltaPsi2软件提供先进的测量，建模和报告能力，准确和灵活的薄膜结构表征。
功能包括厚度计算、光学常数、梯度、各向异性、合金成分、带隙计算、表面粗糙度、EMA、背面校正、多重组合测量/分析数据等。
它集成了最大的材料数据库的参考和色散关系所需的材料光欧洲杯足球竞彩学常数的准确表征。
最近的改进集中于自动建模操作，包括自动拟合程序和离散关系的参数化，以便于使用和分析速度。它还结合了周期结构（1D、2D光栅）表征方面的最新进展。
Fab椭偏仪，如UT-300和FF-1000，以及在线椭偏仪(例如滚转监测仪器)也由DeltaPsi2软件平台驱动。该软件包括一个全自动的操作环境和先进的通信协议(RS232, TCP/IP)，用于强大的薄膜计量控制。DeltaPsi2软件提供了半导体晶片和玻璃面板上的标准化可视化映射结果、统计分析、高级数据操作、进出口包功能和再处理能力。
最近，HORIBA Scientific推出了新的Auto SE，一种用于薄膜质量控制的全自动椭偏仪。在DeltaPsi2平台中包含的新Auto Soft软件包的驱动下，该新的创新软件设计用于在不影响数据质量的情况下提供椭偏分析的简单操作。