与激光切割能力集成的新高分辨率数字显微镜

SUSS MICROTEC测试系统（FWB：SMH）（GER：SMH）是针对半导体设备的晶圆级测试解决方案的主要供应商，今天宣布了IVISTA（TM）LC高分辨率数字显微镜。它的引入时间是满足失败分析实验室的日益增长的高级显微镜工具的需求，该工具能够通过激光切割功能提供高分辨率的数字图像。

Ivista LC数字显微镜通过提供强大的显微镜解决方案来显着提高操作员和工程师的生产率。Ivista显微镜的独特设计提供了与16百万像素Color CCD相当的分辨率的图像。这意味着即使是最小的功能也可以快速易于识别，而无限的数字缩放也提供了更多细节，而不仅仅是像素化图像。

为了满足失败 - 分析实验室工作的工程师的需求，可以从所有主要制造商的激光切割机上使用标准激光端口。高精度，自动化目标更换器允许工程师从用于导航的放大倍率切换到更高的放大倍率，以进行更紧密的检查和激光切割。IVISTA LC显微镜还包括一个可选的偏光层/分析仪单元，用于液体晶体热成像应用和增强的图像对比度。对于文档任务，用户可以保存全分辨率图像和多视图屏幕。

当使用Ivista LC显微镜与SUSS Microtec的自动探针系统结合使用时，Spectrum™视觉系统中的几个其他软件功能将启用。多视图允许用户创建几个自由定义的区域，这些区域被放大并与主视图一起显示，从而实现了对指定区域的实时观察，而不会丢失“大图”。多摄像头成像从单独的摄像头与Ivista LC显微镜的实时图像一起显示实时图像。然后，用户可以在观察晶圆和探测技巧的位置时，可以从专利的ContactView™系统中监视触点高度，并消除了昂贵的探测卡崩溃。还提供了使用标准目标的准确点对点测量和导航工具。

“ Ivista LC显微镜准确提供了晶圆级故障分析所需的工具。”SUSS Microtec测试系统销售和营销副总裁Rob Carter说。“高分辨率光学元件以及最先进的数字缩放提供了超出任何类似产品的图像细节。参与故障分析和设计挑剔任务的工程师将欣赏Ivista LC的高级功能，经理们将欣赏生产力增长的好处，这些工具可以通过如此强大的工具实现。”

IVISTA LC显微镜可立即订购，并计划在2009年第一季度发货。该系统也可以与手动探针站或独立显微镜一起使用。