LBNL的分子铸造厂将用牛津仪器的装备套装

牛津乐器刚刚赢得了6个系统的订单,以配备美国加利福尼亚州劳伦斯·伯克利国家实验室(Berkeley Lab)的分子铸造厂,这是纳米科学的DOE用户设施,以及科学研究的卓越中心。欧洲杯线上买球牛津仪器系统订购的系统包括6个工具 - 3个ICP等离子蚀刻系统,2个plasmalab®80plus工具和Flexal®原子层沉积工具。这些系统将使分子铸造的用户能够利用基于等离子体的蚀刻和沉积来进行纳米科学的开拓研究。欧洲杯线上买球ICP系统和Flexal将具有针对伯克利实验室的特定研究要求量身定制的新功能。

使用牛津ICP 380 10 nm,20:1纵横比蚀刻的硅电线。

该分子铸造厂是美国能源部(DOE)国家用户设施,负责为全球学术,政府和工业实验室的纳米科学研究人员提供支持。欧洲杯线上买球它还为用户提供工具,技术和合作者,以增强他们对纳米级材料的合成,表征和理论的研究。欧洲杯足球竞彩

作为高科技工具和系统的领先提供商,牛津工具等离子技术(OIPT)与著名的LBNL研究所进行了长期合作。该合作包括OIPT在伯克利实验室的分子铸造厂的一名博士学位研究员资金,专门研究用于纳米摄取的高级过程控制,并展示了Oipt继续参与科学研究。

牛津系统将在诸如具有超平滑侧壁的微型和纳米尺度硅特征蚀刻区域的区域中启用分子铸造,低20 nm特征及其他地区的模式转移,血浆蚀刻的纳米贴片刻板印刷模板模板和印刷,以及子 - 子印刷,以及子 -纳米控制膜沉积。

牛津仪器等离子技术销售总监马克·沃斯卢(Mark Vosloo)评论说:“我们很高兴从如此著名的既定客户那里收到此订单,该订单强调了我们对提供市场领先的流程技术的重要性。”

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    牛津仪器等离子技术。(2019年2月10日)。LBNL的分子铸造厂将用牛津仪器的装备套装。Azom。于2021年7月21日从//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=14576检索。

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    牛津仪器等离子技术。“ LBNL的分子铸造厂将用牛津仪器的装备套装”。Azom。2021年7月21日。

  • 芝加哥

    牛津仪器等离子技术。“ LBNL的分子铸造厂将用牛津仪器的装备套装”。Azom。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=14576。(2021年7月21日访问)。

  • 哈佛大学

    牛津仪器等离子技术。2019。LBNL的分子铸造厂将用牛津仪器的装备套装。Azom,2021年7月21日,//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=14576。

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