卡尔蔡司SMT为扫描电子和离子显微镜设定了一个新的分辨率基准-推动扫描束技术超越其当前的限制。采用ZEISS革命性的ORION氦离子显微镜，多次对各种样品实现了2.4 Angström(0.24纳米)的表面分辨率(25%-75%的边缘上升标准)。
这种分辨率接近单个原子的直径，比当今最精密的扫描电子显微镜在同样的表面灵敏度下所能达到的分辨率高出三倍。它为亚纳米范围内的表面成像树立了新的基准。现有客户将有机会将他们的系统升级到这个性能水平。
Carl Zeiss SMT高级副总裁Nicholas P. Economou博士对这一结果充满热情:“使用扫描电子和离子显微镜进行表面成像的无与伦比的分辨率对半导体制造商和许多其他需要看到目前无法解决的小特征的人来说是极其重要的。“随着半导体器件特征尺寸的不断缩小，超高分辨率的显微技术成为必须。卡尔蔡司SMT运营高级副总裁Rainer Knippelmeyer博士解释说:“集成电路的某些层已经达到了只有几个原子的厚度，半导体制造商迫切需要可靠的高分辨率、表面敏感的计量和过程控制工具。通过ORION氦离子显微镜，我们提供了行业和纳米技术研究需要的工具，我们继续跟上行业快速变化的需求。”
氦离子显微镜极高分辨率背后的秘密在于专有的光源技术以及扫描离子束与样品表面之间的相互作用。显微镜的光源非常小，氦离子从一个原子那么小的区域射出。与电子不同，氦离子的波长非常小，因此不会明显受到不利衍射效应的影响——这一物理定律从根本上限制了电子的成像分辨率。此外，氦离子束直接从样品表面触发信号，并在进入样品时保持高度准直。这将导致在引用的分辨率下产生非常清晰和表面敏感的图像，可以很容易地进行解释。相比之下，对于典型的SEM，用于成像的大多数二次电子来自样本内部更深、限制更少的区域，从而产生比猎户座氦离子显微镜更模糊、分辨率更低的图像。
作为创新光刻光学以及基于光学和粒子束的检测、分析和测量系统的全球领导者，卡尔蔡司SMT为其客户在工业制造环境、质量保证和工业和学术研发领域开辟了新的道路。数十年的市场领先地位是基于其在光、电子和离子光学技术方面的领先技术的成功。集团在德国、英国、法国、新加坡、以色列和美国设有子公司，员工超过2500人。在2006/07财政年度，卡尔蔡司SMT公司创造了超过10亿欧元(约13亿美元)的收入。卡尔蔡司SMT AG是德国卡尔蔡司公司的全资子公司。