Hiden分析引入新的IG-5C铯离子枪,用于初级离子束应用,在SIMS测量电气应元素和铯聚类分析中。采用独特的低功耗,高亮度离子源,紧凑型离子柱和光束转向模块,枪证明是适合动态,静态和成像SIMS的理想下。
表面电离源产生的铯离子束高度聚焦,产生的光斑大小可调至20微米。该离子源组件结构紧凑,自对准,易于更换。束流能量在5kev到0.5kev之间变化,束流电流为150nA。安装法兰是2.75英寸/70毫米直径的conflat型法兰和单位是差泵,以保持真正的特高压压力。
控制IG-5C是通过基于PC的界面,允许简单且可再现的设置。该接口控制离子源的电极参数和热管理,并为高电流和小点应用提供配置选项。光束光栅可以在外部驱动,扫描时间为64微秒,并通过+/- 4mm的光束偏转。另外提供内部预设栅格以用于表面制备治疗方法。与Hiden Maxim或EQS SIMS检测器的直接耦合使自动信号门控能够从总扫描表面内的任何预定义区域获取数据和表面成像。