2004年7月8日
迅捷集团公司。今天宣布推出ConSensor™ 集中管理系统。嵌入了迅捷的光谱™ 该技术旨在为监测和控制CMP浆料混合物中氧化剂的浓度提供可靠、经济有效的方法。此新产品具有许多旨在提高性能和降低成本的优点。
ConSensor™通过使用光学测量技术和基于Celerity Spectrym™技术的专有算法，监测和维护对工艺功能至关重要的关键化学成分。系统自动确认混合，确保一致的批次的再现性，并保持一致的日罐内容。ConSensor™在铜和钨CMP工艺中最有益，测量范围在1-8%(重量)之间，并保持高于±0.05%(重量)的设定值。
ConSensor™是一种在线设备，不需要用于化学端点检测的试剂，并将浪费减少到分钟泥浆体积和去离子水。其模块化，无移动部件设计和在线计量有助于易于维护。
“为了满足下一代生产所需的要求，环境要求速度、一致性和精度™ “这是我们相信将有助于塑造明天的晶圆厂运营的众多改进之一，”Celerity高级技术总监杰夫·威尔默（Jeff Wilmer）说。
有关铜点击在这里.