革命性光刻系统成功改善了晶圆输出

Sokudo Co.,Ltd.今天宣布,其革命性的Sokudo Duo Goat/Develop Track Platform在平面图处理过程中以300 wph的速度(该行业最高的轨道系统吞吐量)在客户站点上运行。通过合并创新的双轨道设计,这种下一代轨道系统极大地改善了晶圆输出 - 传统上限于大约200 wph。

去年年底,在东芝半导体公司的生产工厂安装了Sokudo Duo系统,以在光刻过程中进行系统性能评估。在东芝评估期间,该系统大大改善了先前的处理基准,证明了独立外套中的300 wph吞吐量并开发了轨道配置。

对于半导体制造商降低生产成本而言,提高系统生产率已变得越来越重要,同时继续加速了高级线宽的模式技术。该客户验证确认了Sokudo Duo系统的高通量处理,并确保了显着提高生产率绩效的能力。

Sokudo Co.,Ltd。(总部:日本京都)是一家由Dainippon ScreenMfg。Co.,Ltd。和Applied Materials,Inc。Sokudo拥有的合资公司欧洲杯足球竞彩以及用于半导体生产的高级外套/开发轨道设备。2020欧洲杯下注官网有关Sokudo的其他信息可以在www.sokudo.com

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    Applied 欧洲杯足球竞彩Materials Inc.(2019年2月10日)。革命性光刻系统成功改善了晶圆输出。azom。于2022年1月19日从//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=16975检索。

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    Applied 欧洲杯足球竞彩Materials Inc.“革命性光刻系统成功改善了晶圆输出”。azom。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=16975。(2022年1月19日访问)。

  • 哈佛大学

    Applied 欧洲杯足球竞彩Materials Inc. 2019。革命性光刻系统成功改善了晶圆输出。Azom,2022年1月19日,https://www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=16975。

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