牛津仪器等离子技术(OIPT)系统腐蚀的主要制造商,宣布沉积和增长来自利物浦大学的蛋白石二阶负载原子层沉积工具打开。OIPT紧凑的蛋白石系统是一个独特的热退化工具升级路线清晰和容易等离子体,允许等离子体和热ALD的结合在一个单一的工具。第一个系统是购买作为EPSRC的一部分资助的研究项目,和第二个蛋白石是购买联合行业/政府资助计划的一部分。利物浦大学继续加强与产业的联系,实现这一目标,通过其与OIPT合作和SAFC高科技。
牛津仪器的蛋白石ALD系统
“我们当前的蛋白石系统被用于开发热退化过程使用氨和金属有机前驱hafnium-nitride和镧系元素的沉积氮化物/氮氧化物,这些材料是重要的对闸门堆栈在集成电路中的应用。欧洲杯足球竞彩蛋白石系统是一个坚实的研究工具,它是构建和用户友好的控制系统。作为研究科学家开发退化过程感兴趣,我特别喜欢的蛋白石为未来的扩张显示大量的空间等离子体升级选项和访问端口等现场监测,”理查德•波特博士评论利物浦大学,工程部门,
利物浦大学教授保罗粉笔,工程部门补充说,“这些额外的蛋白石和等离子体系统扩展我们的研发机会。我们选择了蛋白石因为它的灵活性和它建立了适合研究应用程序在这里和其他大学运行类似的项目。”
克里斯•霍德森ALD OIPT产品经理说:“牛津仪器自豪的持续承诺合作研究,并参与全球许多著名的大学。我们的蛋白石系统提供最先进的“肾上腺脑白质退化症”的功能在一个适合行业合作研究平台,我们致力于提供一流的设备和支持利物浦大学这些项目。”2020欧洲杯下注官网
* EP / E048560/1——原子层沉积hafnium-nitride和镧系元素氮化物