2009年7月2
今年SEMICON West的晶圆加工部分将有来自CyberOptics半导体讨论一种新开发的粒子传感技术在实时监测工艺设备中的空气粒子以验证和分析晶圆污染方面的作用。2020欧洲杯下注官网欧洲杯猜球平台
CyberOptics Semiconductor开发了新的WaferSense(R)机载粒子传感器(APS)，使工程师能够有效地检测和分类粒子及其精确来源，在一个过程中，晶圆传输、缝隙阀驱动和腔室循环、泵送和清洗。欧洲杯猜球平台该APS兼容前端，涂布机/显影剂轨道，沉积和蚀刻设备。2020欧洲杯下注官网
公司开发了新的无线particle-sensing技术在去年和演示原型的新WaferSense®空气粒子传感器(APS)在晶圆厂和oem,在准备发射半导体西方,根据克雷格·c·拉姆齐博士CyberOptics半导体的总经理和首席技术官。
Ramsey表示，新的APS将在2009年第二季度完成采购订单，类似晶圆片的设备旨在“降低工艺设备颗粒鉴定的时间和费用，并提高模具产量。”2020欧洲杯下注官网
CyberOptics半导体公司将在SEMICON西馆北厅的5761展位展示APS及其整个WaferSense计量设备。
拉姆齐说:“当工艺工程师实时查看颗粒状况，并能解决特定的问题点时，而不是在整个工具中猜测和检查，他们就能在第一次尝试时通过颗粒检测。”“当工具无法进行颗粒检测时，可以使用APS来发现颗粒被添加到监控晶圆的工艺位置。”欧洲杯猜球平台
Ramsey观察到，在晶圆加工之前，无法隔离和减轻工具中的颗粒来源的晶圆厂，会由于晶圆污染而降低模具成品率。欧洲杯猜球平台
据Ramsey介绍，CyberOptics Semiconductor公司开发的APS可以让工程师在晶片传输、缝阀驱动和腔室循环、泵送和清洗的过程中有效地检测和分类粒子及其确切来源。欧洲杯猜球平台APS兼容前端，涂布机/显影剂轨道，沉积和蚀刻设备。2020欧洲杯下注官网
Ramsey表示，APS旨在帮助晶圆厂“通过减少设备停机时间、监控晶圆消耗和工程劳动力，降低整体运营成本。”2020欧洲杯下注官网晶圆厂通过减少表面粒子计量设备的加载获得额外的效率，当他们的计量队列仍然很短时，运行更平稳。2020欧洲杯下注官网
拉姆齐补充说，这种自动化友好型、真空兼容的设备不需要工程师打开腔室或将超净工艺区域暴露在大气气体中。测试表明，该传感器具有检测0.1 um粒子的能力。欧洲杯猜球平台这个独立的装置使用一个风扇将受粒子污染的气体通过一个通道，当激光照亮气体流时，粒子将光散射到传感器的光电二极管探测器上。欧洲杯猜球平台
Fab工程师使用设备配套软件ParticleView™和ParticleReview™验证和分析工艺设备中的粒子条件。2020欧洲杯下注官网ParticleView的GUI显示累积或差异粒子计数，并允许用户标记日志文件，以指明设备处于实时分区的进程中的确切位置。ParticleReview的GUI显示APS获取的日志文件数据，用户可以对粒子条件进行机对机趋势分析，建立过程控制，进行过程改进。
WaferSense APS的规格和功能包括200和300毫米的形状因子，450毫米版本可根据特殊订单提供。APS和其他WaferSense设备一样，使用无线蓝牙连接，兼容Windows 2000、XP和Vista。
WaferSense APS包包括粒子感应晶片、usb兼容链路、ParticleView和ParticleReview软件、充电清洁盒和手提箱。
WaferSense系列设备包括自动振动系统(AVS)，自动调平系统(ALS2 Vertical)，自动教学系统(ATS)和自动间隙系统(AGS)。每个设备跟踪晶圆片的加工寿命并报告实时的计量数据。