2009年7月15日
Semilab SSM，一个分支Semilab今天，世界上最大的计量公司之一，Semicon West在Semicon West宣布了其纳米osrp系列计量产品的新成员。专为中小型半导体和太阳能电池制造商设计的SRP Express 170是一个手动系统，使用扩散电阻剖面技术(SRP)提供密度和电阻深度剖面。
SRP技术提供了电活性掺杂剂的电阻率和载流子密度剖面的直接测量-决定器件性能的相同的电性能。到目前为止，中小型公司不得不在高端、高通量系统和过时的低端手工系统之间做出选择。
“SRP Express 170填补了SRP需求的一个重要空缺。有了该系统，制造商可以取代他们的老化、手动系统或外包服务，在内部带来一个具有成本效益的现代系统。”
SRP Express 170的定价在20 -30万美元之间，取决于系统配置和选项。
Semilab SSM还宣布了其汞探测产品(495和510)的新产品，使它们更易于使用。汞探测在许多应用中都是必需的，如表征薄膜，如电介质、氧化物或外延层。SSM目前的产品要求大约每周更换一次汞。新的解决方案将延长至3-6个月，减少了支持产品的人力，并在一年的时间内减少了90%以上的处理量。该公司还宣布了升级工具的水银更换服务。Semilab将负责整个汞处理工作。
Jaeger说:“和SRP一样，汞探测是计量和材料表征的经典技术。“对该产品的需求仍在继续。这次升级说明了我们致力于提供基于成熟技术的现代化、易于使用的产品。”
SRP-Express 170现在有货。改进后的汞探测器作为测试工具可用，并将在今年晚些时候成为标准。
Semilab SSM为sub-2 nm栅氧化物、高k栅介质、氮化氧栅堆、低k介质、植入/退火、外延硅、绝缘体上硅(SOI)和其他关键应用提供过程控制和表征系统。1990年，SSM推出了第一个用于外延硅和植入物剖面分析的高重复性汞(Hg)探针测绘系统。2001年，SSM推出了革命性的FastGate 6000系列无损电气监测系统，用于在线测量产品晶圆上的电氧化层厚度、泄漏电流、植入剂量和其他参数。2008年，SSM推出了NeoMetrikTM系统，用于在线表征低k介电膜。Semilab SSM隶属于Semilab USA集团，总部位于宾夕法尼亚州的匹兹堡。它在中国、欧洲、日本、韩国、新加坡和台湾设有直接支持设施。