在场发射变压扫描电子显微镜上的出色分析能力

s-4300se / n来自日立高科技在真正分析仪器中提供场发射源和可变压力的独特组合。使用Schottky Thermal Fe Source提供了优异的分辨率,还为EDX和WDX分析提供了足够的光束电流。

可变压力操作的灵活性意味着,不需要准备样品,就可以检查难湿、油性和非导电的样品。S-4300SE/N提供异常大的工作压力范围10至1000pa。对于高压下的二次电子成像,仪器可与日立公司的“环境二次电子探测器”配套使用。

该仪器可以同时配备EDX,WDX,阴极发光和电子背散射图案(EBSD),以及配合有梁消隐板,以允许进行电子束光刻。这使得S-4300SE / N成为可用的最通用的分析显微镜之一。

使用EDX和最新的并行波束WDS系统可提供优异的元素分析。并行光束WDS为光元件的分离提供了改进的光谱分辨率,用于映射的更好的空间分辨率并且在低kV下运行良好。

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