是蚀刻、沉积和生长工艺和系统的领导者，牛津等离子体技术(OIPT)该公司刚刚推出了Nanofab800Agile系统。这种新工具扩展了Nanofab的高度灵活的工具和经过验证的过程，除了提供标准和高温PECVD外，还提供催化剂处理和可控的纳米管和纳米线生长。
Nanofab800Agile系统为影响纳米结构的生长提供了发展机会。该系统的温度可达800oC，并通过灵活的加热和冷却实现快速周转，还可以控制纳米结构的排列和尺寸。
额外的好处包括可变的样品尺寸，最大可达200mm的晶圆，优良的温度均匀性，和灵活的温度控制。该系统配置了真空负载锁定，以确保过程的重复性和室的清洁度。
Nanofab800Agile具有一个可选的液体源输送系统，以及定制开发的对准生长和薄膜应力控制设置，能够在高压和高流动状态下进行加工。
Ian McKinlay是OIPT的高级产品经理，他说:“作为一家公司，我们一直在努力改进向客户提供的产品。这一最新的增加意味着我们的客户将受益于先进的功能，如快速加热和冷却循环，优良的温度均匀性和过程控制。这得到了OIPT广泛的流程库和应用专业知识的支持，以及我们对持续优质客户服务和支持的承诺。”