牛津仪器等离子技术(OIPT)系统腐蚀的主要制造商,沉积薄膜生长,高兴地宣布一个订单从加州大学圣芭芭拉分校(UCSB),美国为其FlexAL原子层沉积(ALD)工具。
FlexAL是一个紧凑的血浆ALD系统,允许等离子体和热ALD的结合在一个单一的,紧凑的工具使它理想的前沿研究。“UCSB纳米加工设备是兴奋的除了牛津仪器FlexAL ALD系统。该系统为热提供了极大的灵活性和plasma-based过程与现场诊断工具来解决不同的需求光学和电子设备研究工作在我们的设施。我们期待与牛津仪器。”评论Brian Thibeault UCSB,部门ECE。
克里斯•霍德森OIPT ALD产品经理说:“牛津仪器ALD UCSB高兴、选择我们最先进的等离子体系统在薄膜生长为他们的未来的研究活动。我们也兴奋的一部分大学的纳米加工设备的成功连接地方纳米技术公司和研究全国连锁延伸。这是我们的第四个血浆ALD NNIN网络体系。”