牛津仪器等离子技术(OIPT)与法国研究中心最近赢得了合同,在法国斯特拉斯堡STnano的供应Plasmalab System80 + ICP系统。
牛津仪器等离子技术Plasmalab80 + ICP系统
STnano是新的斯特拉斯堡纳米加工平台,建立了由IPCMS (CNRS实验室)和斯特拉斯堡大学(UdS),并通过自上而下的专长在纳米结构的设计方法,并研究其磁性。
牛津仪器公司Plasmalab System80Plus系统是一个灵活的、紧凑的等离子体刻蚀和沉积过程和经济的解决方案。STnano已经购买了电感耦合等离子体(ICP)配置,处理多种材料包括硅蚀刻。欧洲杯足球竞彩
OIPT的Plasmalab System80Plus也可以配置为腐蚀和沉积(ICP-PECVD)、反应离子刻蚀(RIE),等离子体蚀刻(PE)或等离子体增强化学气相沉积(PECVD) "。
博士Hicham Majjad STnano奈米制造经理说,研究中心选择一个牛津仪器工具,因为它安装他们的研究需求。“作为一个领先的法国研究中心我们要求最高的规范系统我们可以找到适合的工作任务。Plasmalab80 +开放负荷设计允许快速装卸,理想的原型和低容量生产环境等我们的。
系统已经买了一部分STnano的计划为我们的洁净室配备最先进的仪器为纳米和微制造领域的规模分子电子自旋电子,和聚合物”。
“作为世界领导人在Nano社区提供蚀刻工具,再加上我们在工艺技术的专业知识,OIPT能够提供STnano正是他们寻找的系统,”Mark Vosloo评论销售总监OIPT,“我们骄傲过程工程师的经验丰富的团队,能够提供流程和技术,以支持我们的客户严格的要求。”