应用材料公司。欧洲杯足球竞彩Nanomanufacturing技术解决方案的全球领导者,广泛投资组合创新的设备、服务和软件产品制造的半导体芯片、平板显示器、太阳能光伏电池、灵活的电子产品和节能玻璃,今天CMP *技术提高到一个2020欧洲杯下注官网新的水平,同时降低系统成本的所有权(首席运营官)发起的反射GT系统申请高级金属CMP应用程序。
系统的小说,dual-wafer设计集新基准CMP性能和生产率,提供优越的配置文件控制和更高的吞吐量比竞争系统的60%。反射GT也大幅削减耗材成本,需要到少30%浆和加工晶圆/抛光垫的两倍。
反射GT系统的关键是它的双模式架构,同时启用两个晶圆处理每个滚筒使用独立控制泰坦轮廓抛光头。(照片:业务线)
“今天的铜线圈逻辑和内存设备有更多的铜互连层,要求更快CMP加工和更有效地使用耗材,“说看到Karuppiah,总经理应用CMP的业务单元。“就像应用声称在生产国GT CVD *平台,反射GT系统是另一个梦机器为客户- CMP技术的创新结合dual-wafer处理达到最佳性能。除了高速吞吐量,这个新架构允许客户实现大幅节省耗材的成本,通常由70%的总成本/晶圆。”
反射GT系统的基准性能的关键是它的双模式架构,同时启用两个晶圆处理每个滚筒使用独立控制泰坦轮廓抛光头。parallel-path抛光完成后,清洁模块应用已被证实的马朗戈尼蒸汽干燥提供了高效、水mark-free晶片清洗。实时系统的专有,概要文件和端点控制技术提供行业领先,薄片一致性。
反射GT系统现在可以对铜互连整平,并演示了其可扩展性钨的应用程序。这种创新的系统增加了CMP技术的应用的十年的领导,全世界有超过2700系统在客户现场。欲了解更多信息,请访问http://www.applied欧洲杯足球竞彩materials.com/products/reflexion_gt_cmp_4.html。
* CMP =化学物质平面化;心血管疾病=化学汽相淀积