新的半导体制造真空抽水系统

应用材料公司。欧洲杯足球竞彩Nanomanufacturing技术解决方案的全球领导者,广泛投资组合创新的设备、服务和软件产品制造的半导体芯片、平板显示器、太阳能光伏电池、灵活的电子产品和节能玻璃,今天公布了iSYS应用平台,2020欧洲杯下注官网该行业的第一基础减排和真空抽在半导体工厂控制排放的解决方案。

网络与应用过程工具,iSYS系统可以提供典型每年节省电力,水和天然气消耗量相当于200兆瓦的能量或220000磅的二氧化碳排放,相比现有的配置。除了环境效益,iSYS系统降低了效用成本减排和真空抽水过程工具20%以上。

iSYS平台能够节约资源的关键是其独特的控制系统与晶片处理同步工具,遥感实时变化的每个进程室和指挥子系统到预定义的备用状态。电力计量传感器和软件内置在每个iSYS平台启用远程监控的累积能量储蓄和跟踪实现能源可持续发展目标的进展。

“iSYS平台应用是利用其无与伦比的设备自动化和过程工具技术来创建一个智能解决方案减少浪费在半导体制造业,”查理说冠毛,应用全球服2020欧洲杯下注官网务的副总裁和总经理。“通过调节资源消耗,以应对改变的工具条件,iSYS平台可以帮助我们的客户降低运营成本,支持可持续生产实践。”

高度密集的小聚居应用iSYS单位可以安装在不到一天,少消耗40%的面积比集成系统。从一开始就为最大设计便于维修,iSYS设计巩固主要组件和消除冗余大大减少外部连接的数量,同时优化维护人体工程学。通过叠加轻组件上面重的和优化管道路由,技术人员可以快速完成所有服务任务,包括泵更换,无需特殊设备。2020欧洲杯下注官网

iSYS平台取得的巨大节能的测量在应用先进Maydan技术中心在一个生产者使用半S23 PECVD * " GT系统应用方法。最初推出应用材料的CVD系统,灵活iSYS架构还可以支持蚀刻应欧洲杯足球竞彩用程序。欲了解更多信息,请访问:http://www.applied欧洲杯足球竞彩materials.com/products/isys_2.html

PECVD = " *等离子体增强化学汽相淀积

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    应用材料公司(2欧洲杯足球竞彩019年2月10日)。新的半导体制造真空抽水系统。AZoM。检索2022年1月19日,来自//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=19887。

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    应用材料公司。欧洲杯足球竞彩“新的半导体制造真空抽水系统”。AZoM。2022年1月19日。< //www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=19887 >。

  • 芝加哥

    应用材料公司。欧洲杯足球竞彩“新的半导体制造真空抽水系统”。AZoM。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=19887。(2022年1月19日访问)。

  • 哈佛大学

    应用材料公司。2欧洲杯足球竞彩019。新的半导体制造真空抽水系统。AZoM, 2022年1月19日,//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=19887。

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