牛津仪器等离子体技术（OIPT），在蚀刻，沉积和增长的生产系统和流程的领导者最近从IMB巴塞罗那为其System100集群平台获得了两个ICP-RIE过程模块的订单。该系统将用于铝蚀刻，牛津仪器专业领域之一。
国家微电子（CNM）中心是西班牙最大的公共微电子研究和开发中心，包括三所研究所，包括Instituto DeMicroelectrónicade Barcelona，IMB-CNM。
德拉。来自IMB Barcelona的AnaSánchezamores，“我们的设施包括集成的微型和纳米制作洁净室和其他互补实验室，用于微系统的过程，设备包装和电气表征。IMB-CNM的洁净室设施包括微型和设备的设备2020欧洲杯下注官网基于硅技术的纳米制作过程，我们将在此处使用OIPT Systems为我们的研发。我们选择了由于公共招标过程而被评估的公共招标过程，即技术和经济方面，蚀刻工艺专业知识提供的系统和客户支持水平“。
OIPT的销售和客户支持总监Mark Vosloo表示，“牛津仪器”工具在一系列应用中提供出色的均匀性和高吞吐量流程。我们的灵活集群系统适用于IMB洁净室安装等R＆D，以及用于生产应用，并由我们广泛的过程库支持。随着行业领导者，我们很高兴我们的系统被这位着名的研究所选择。“