2010年1月7日
牛津仪器等离子体技术宣布对其Ionfab离子束蚀刻和沉积工具的需求大幅增加,2009年是这些系统销售最好的一年。这种灵活、多功能的工具已经收到了来自世界各地客户的订单,用于研发和生产应用。
其中包括向沙特阿拉伯阿卜杜拉国王科技大学(KAUST)销售用于研发的Ionfab系统;欧洲杯线上买球瑞典查默斯理工大学研究超低温蚀刻技术;CEA LETI,法国格勒诺布尔研发中心;并从中国的一家主要制造商获得Ionfab500系统,以承担中批量光学涂层的生产。
牛津仪器的Ionfab工具可以灵活地进行蚀刻和/或沉积,从而最大限度地提高系统的利用率。它的规格可以根据应用紧密调整,实现更快和可重复的过程结果,并提供多种模式的功能:离子束蚀刻(IBE),反应离子束蚀刻(RIBE),化学辅助离子束蚀刻(CAIBE),离子束溅射沉积(IBSD)和离子束辅助溅射沉积(IASD)。
“OIPT是我们科技行业中少数几家不仅经受住了经济衰退的考验,而且还取得了显著增长的公司之一。我们的产品和流程组合的力量意味着我们能够提供客户优良的技术,根据他们的需求”,评论马克Vosloo,销售和客户服务主任OIPT,“这些Ionfab离子束系统已经为个人客户自定义构建应用程序,从研发到生产,腐蚀和沉积。我们的多功能性加上优良的均匀性和工艺结果,意味着OIPT正日益成为离子束系统的首选供应商。”